11月5日，由北京理工大學(xué)與重慶西永微電子產(chǎn)業(yè)園共建的北京理工大學(xué)重慶微電子研究院（簡稱北理微電院，CiMEMS）傳來喜訊，CiMEMS微納制造工藝線在西部（重慶）科學(xué)城西永微電子產(chǎn)業(yè)園順利通線，項目一期投資近1.5億元。

通線儀式上，隨著“重慶根、北理芯”的字樣和一片MEMS晶圓浮現(xiàn)出啟動臺，標(biāo)志著北理微電院具備了MEMS芯片從前瞻性科研、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用設(shè)計、生產(chǎn)與工藝迭代優(yōu)化，到封裝與測試的全鏈條創(chuàng)新策源能力，并能夠為重慶打造“33618”現(xiàn)代制造業(yè)集群提供“國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流”的MEMS芯片產(chǎn)品與服務(wù)。

據(jù)北理微電院院長謝會開教授介紹，在集成電路行業(yè)不斷發(fā)展的背景下，傳統(tǒng)的集成電路無法持續(xù)地滿足終端領(lǐng)域日益變化的需求，基于MEMS芯片技術(shù)的集成電路具有更強(qiáng)的性能，低功耗、速度快、可靠性高等優(yōu)點，可以廣泛應(yīng)用在智能制造、自動駕駛、人工智能等多個領(lǐng)域。

北京理工大學(xué)重慶微電子研究院消息顯示，北理微電院位于重慶西永微電子產(chǎn)業(yè)園，擁有建筑面積近10000㎡的科研大樓與超凈面積約1200㎡的6英寸MEMS晶圓微納制造工藝線。北理微電院自建院以來兩年時間，已經(jīng)建設(shè)完成一條先進(jìn)微納制造工藝線與基于微納制造的六個科研方向：先進(jìn)微納芯片技術(shù)、智能微系統(tǒng)、微納生物光子、硅基高速片上系統(tǒng)、太赫茲新型器件和微納材料及新型半導(dǎo)體器件，形成了1+6的科研結(jié)構(gòu)。

研究院成功遞交國家自然科學(xué)基金項目指南1份，參與申報國家自然科學(xué)基金項目3項、科技部重大專項1項。此外聯(lián)合社會資本成立了重慶微奧芯辰電子有限公司，基于研究院在MEMS芯片與結(jié)構(gòu)光方面的科研成果，重點面向智能制造裝備發(fā)力，為工業(yè)機(jī)器人、工業(yè)缺陷檢測、無人物流設(shè)備裝上超高精度的“眼睛”。（校對/趙碧瑩）