天眼查顯示，深圳新益昌科技股份有限公司近日取得一項(xiàng)名為“一種晶圓搜索方法、系統(tǒng)、設(shè)備及可讀存儲(chǔ)介質(zhì)”的專(zhuān)利，授權(quán)公告號(hào)為CN115831814B，授權(quán)公告日為2024年7月5日，申請(qǐng)日為2022年11月22日。

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，提供一種晶圓搜索方法、系統(tǒng)、終端設(shè)備及可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其方法包括：當(dāng)確定晶圓吸取機(jī)構(gòu)吸取所述第一晶圓區(qū)域的最后一個(gè)晶圓后，在所述最后一個(gè)晶圓周?chē)傻谝活A(yù)設(shè)數(shù)量的第一特征點(diǎn)位；根據(jù)所述第一特征點(diǎn)位中的目標(biāo)特征點(diǎn)位的位置以及兩個(gè)所述目標(biāo)特征點(diǎn)之間的距離生成第二預(yù)設(shè)數(shù)量的第二特征點(diǎn)位，所述目標(biāo)特征點(diǎn)位位于所述載體的邊緣區(qū)域；根據(jù)第一搜索路徑和第二搜索路徑搜索所述第二晶圓區(qū)域，所述第一搜索路徑是連接所述第一特征點(diǎn)位所得到的，所述第二搜索路徑是連接所述第二特征點(diǎn)位所得到的。實(shí)施本申請(qǐng)，可自動(dòng)搜索多區(qū)域分布的晶圓，提高工作效率。