近日，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司（簡稱：“微導(dǎo)納米”，股票代碼：688147.SH）超大寬幅卷對卷ALD裝備順利交付，經(jīng)過嚴(yán)苛的裝配檢驗和調(diào)試，達成既定工藝指標(biāo)并通過量產(chǎn)驗證。此次超大寬幅卷對卷ALD裝備再獲訂單，體現(xiàn)了客戶及市場對微導(dǎo)納米技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品的高度認(rèn)可，進一步鞏固了微導(dǎo)納米在柔性基底薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域的先進地位。

微導(dǎo)納米的卷對卷鍍膜裝備是在柔性/可延性基板上完成的納米膜制備，可以用在鋰電池隔膜、薄膜電池、柔性光伏組件、光學(xué)膜、生物醫(yī)藥等應(yīng)用領(lǐng)域。

以柔性高阻隔封裝薄膜為例。它在諸多前沿產(chǎn)業(yè)如柔性光伏封裝、柔性O(shè)LED顯示、照明封裝及量子點增強膜封裝等領(lǐng)域展現(xiàn)出了廣泛的應(yīng)用潛力，市場前景廣闊。然而，隨著這些應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴展和深化，對薄膜的阻隔性能和阻隔的穩(wěn)定性提出了更為嚴(yán)苛的要求，要求水汽阻隔達到10-3g/m2.day~ 10-6g/m2.day級別的超高阻隔膜指標(biāo)，而實現(xiàn)這一阻隔性能的工藝異常精密，工藝路線復(fù)雜且成本居高不下，量產(chǎn)性技術(shù)壁壘高。

微導(dǎo)納米基于空間型ALD開發(fā)的大型卷對卷鍍膜裝備，解決了工藝穩(wěn)定和優(yōu)化維護保養(yǎng)問題。新一代寬幅≥1.5m、穩(wěn)定超高阻隔性工藝設(shè)備的推出，標(biāo)志著微導(dǎo)納米在柔性電子尖端鍍膜技術(shù)的再次突破，提升了我國柔性領(lǐng)域高端裝備技術(shù)的國際競爭力，并達到國際領(lǐng)先水平。

超大寬幅卷對卷ALD真空鍍膜裝備特點

1多項技術(shù)合一

將超大面積的空間ALD、真空卷繞系統(tǒng)、收放卷糾偏真空自動化、超大面積柔性張力控制和微間隙檢測等多種技術(shù)相結(jié)合，實現(xiàn)了真空環(huán)境中在柔性基底材料薄膜的連續(xù)沉積。

2有效降低成本

可顯著減少柔性鍍膜設(shè)備的占地面積、降低預(yù)算支出和試驗成本，同時可保持真空狀態(tài)完成多層膜沉積，有效提升鍍膜效率和維護保養(yǎng)效率。

3低粉塵和薄膜無變形特性

在工藝過程中對收放卷張力控制、基材的振動振幅控制、特氣系統(tǒng)的氣氛隔離等有全新的優(yōu)化設(shè)計，顯著改善了粉塵的產(chǎn)生和薄膜高溫后的變形。同時，還能夠?qū)崿F(xiàn)高鍍膜速率和超大寬幅大尺寸薄膜的連續(xù)生產(chǎn)。

4提供多功能選項

提供成熟的高阻隔膜工藝，包括兩種化學(xué)源配置、相鄰鍍膜腔工藝氣氛隔絕和加熱器等，使客戶能夠根據(jù)其具體需求進行定制配置，有利于嘗試不同的薄膜組合和擴展其他工藝驗證。

微導(dǎo)納米全新開發(fā)的卷對卷設(shè)備平臺，除了能夠提供成熟的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用高阻隔工藝解決方案外，還能為新的市場熱點——柔性鈣鈦礦電池，提供新的工藝解決思路，借由成熟的卷對卷ALD平臺，儲備開發(fā)適合柔性鈣鈦礦工藝的電子傳輸層氧化錫和柔性封裝的產(chǎn)業(yè)化裝備，助力柔性鈣鈦礦路線產(chǎn)業(yè)化快速推進。