天眼查顯示，左藍(lán)微（江蘇）電子技術(shù)有限公司近日取得一項(xiàng)名為“一種薄膜體聲波諧振器及其制備方法”的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN110311643B，授權(quán)公告日為2024年8月30日，申請(qǐng)日為2019年8月1日。

本發(fā)明提供一種薄膜體聲波諧振器及其制備方法。制備方法包括：提供第一基板和第二基板；在第一基板上形成第一凹槽；在第二基板上形成至少一組縱向布拉格反射柵，每組均包括至少兩層具有不同聲阻抗的薄膜材料層；將第二基板設(shè)置有縱向布拉格反射柵的一側(cè)與第一基板設(shè)置有第一凹槽的一側(cè)鍵合；在第二基板背離第一基板的一側(cè)形成壓電堆疊結(jié)構(gòu)；在壓電堆疊結(jié)構(gòu)的邊緣區(qū)域形成至少一組橫向反射柵，以完成所述薄膜體聲波諧振器的制備。本發(fā)明制備的薄膜體聲波諧振器在橫向與縱向上均設(shè)置反射柵，有利于將聲波能量限制在器件有效區(qū)域，實(shí)現(xiàn)能陷作用，可以進(jìn)一步提高器件的Q值，從而使諧振器具有較高的頻率穩(wěn)定度。