SEMI-e深圳國(guó)際半導(dǎo)體展暨集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新展，將于9月10-12日在深圳國(guó)際會(huì)展中心(寶安新館)盛大啟幕！誠(chéng)鋒科技將攜前沿解決方案精彩亮相，誠(chéng)邀您蒞臨 13號(hào)館 13F113 展位，共話芯未來(lái)，探索創(chuàng)新機(jī)遇！

產(chǎn)品介紹

納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備

光模塊產(chǎn)線AOI設(shè)備系列

光模塊產(chǎn)線AOI設(shè)備CF91X系列可應(yīng)用于400G/800G/1.6T光模塊制造，它包含高達(dá)1um瑕疵靈敏度的CF916專用于TIA/PD/PIC/COC芯片全檢測(cè)，CF915專用于光模塊的金線檢測(cè)，CF917/CF912分別應(yīng)用于PCBA元器件和COB基板的光學(xué)檢測(cè)。

Reticle多用途缺陷檢測(cè)設(shè)備

CFY210 是應(yīng)用在 MaskShop 的多用途AOI設(shè)備，誠(chéng)鋒的光罩檢測(cè)技術(shù)可幫助光罩制造商識(shí)別光罩particle缺陷和圖形缺陷。CFY210 支持多種檢測(cè)模式（Blank檢測(cè)/MBB particle檢測(cè)/ADI&AEI particle檢測(cè)/圖形檢測(cè)），支持SMIF自動(dòng)上下料，既可以滿足檢測(cè)穩(wěn)定性和產(chǎn)能需求，也可以滿足超高潔凈度要求，從而幫助客戶提升良率。

最高瑕疵靈敏度：0.2um

檢測(cè)效率：10分鐘/片

圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備

CFW820是一款用于FAB產(chǎn)線缺陷監(jiān)控的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，可對(duì)標(biāo)國(guó)外競(jìng)品Cxxx的Eagle-i系列機(jī)臺(tái)，可應(yīng)用在ADI/AEI/CMP/OQC等多個(gè)工藝站，能夠幫助客戶快速篩選產(chǎn)線上影響產(chǎn)品質(zhì)量的典型圖形缺陷和表面缺陷，確保各種工藝穩(wěn)定運(yùn)行。CFW820擁有超高的wafer傳輸兼容性，可以兼容Thin/Taiko/Standard wafer，配置多種光學(xué)放大倍率，具備雙通道檢測(cè)能力，能夠兼顧靈敏度和吞吐率，搭配靈活易用的recipe 管理功能，助力客戶產(chǎn)線制程良率提升。

圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備

CFW821是一款高規(guī)格的FAB前道圖形檢測(cè)設(shè)備，可對(duì)標(biāo)國(guó)外競(jìng)品Kxx的89xx機(jī)臺(tái)，它配備了雙TDI傳感器，可實(shí)現(xiàn)明暗場(chǎng)同步成像，一次掃描可同時(shí)采集檢測(cè)明場(chǎng)和暗場(chǎng)的圖像，可掃描檢出更多的瑕疵，它適用于FAB前道的ADI/AEI/CMP等多個(gè)工藝站，能夠幫助客戶快速篩選產(chǎn)線上影響產(chǎn)品質(zhì)量的典型圖形缺陷和表面缺陷，確保各種工藝穩(wěn)定運(yùn)行?？蓾M足高吞吐率和瑕疵高檢出率的應(yīng)用場(chǎng)合。