天眼查顯示，蘇州聲芯電子科技有限公司“一種高性能的聲表面波濾波器及其成型方法”專利公布，申請公布日為2025年2月28日，申請公布號為CN119543881A。
本發(fā)明公開了一種高性能的聲表面波濾波器及其成型方法，該方法成型的濾波器包括襯底層、壓電層和諧振器金屬層，諧振器金屬層中的電極連接區(qū)域的上表面還覆蓋有覆蓋金屬層，襯底層上位于諧振器金屬層的下方還設(shè)置有通道空腔，通道空腔的范圍覆蓋叉指換能器。該成型方法包括以下步驟：S1、提供襯底層并形成通道空腔；S2、在通道空腔內(nèi)填充犧牲層；S3、在犧牲層上成型上導(dǎo)熱金屬層；S4、導(dǎo)出犧牲層；S5、形成壓電層；S6、生成諧振器金屬層和覆蓋金屬層。該成型方法成型的聲表面波濾波器能夠阻隔體波的傳輸同時提高耐受功率。
