天眼查顯示，蘇州聲芯電子科技有限公司“一種聲表濾波器的壓電晶圓切割方法”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2025年2月28日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119543865A。
本發(fā)明公開(kāi)了一種聲表濾波器的壓電晶圓切割方法，包括以下步驟：S1、提供一個(gè)壓電晶圓，壓電晶圓的正面設(shè)置了若干個(gè)離散的金屬叉指電路；S2、在壓電晶圓的正面涂抹保護(hù)膠，保護(hù)膠將對(duì)應(yīng)的金屬叉指電路覆蓋；S3、在壓電晶圓的背面貼覆一層背面保護(hù)膜；S4、將壓電晶圓放置在切割臺(tái)上固定，利用切割刀從壓電晶圓的正面進(jìn)行直線切割形成井字形的切割槽，該切割槽的切割面具有一個(gè)與壓電晶圓的正面相連的將聲波朝背面反射的功能面；該切割槽將壓電晶圓和金屬叉指電路分割成為若干個(gè)獨(dú)立的裸芯片；S5、去除每個(gè)裸芯片正面的保護(hù)膠和背面保護(hù)膜。該切割方法得到的聲表濾波器能夠減少?gòu)倪吘壏瓷浠氐哪芰俊?/p>
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