據(jù)天眼查顯示，杭州美迪凱光電科技股份有限公司“一種超薄晶圓BGBM減薄背金加工方法”專利公布，申請公布日為2025年3月11日，申請公布號為CN119601502A。
本發(fā)明提供一種超薄晶圓BGBM減薄背金加工方法，其通過設(shè)置薄片BG膜+晶圓+切割膜+金屬環(huán)的組合結(jié)構(gòu)，在酸洗、鍍膜環(huán)節(jié)靈活切換切割膜和金屬環(huán)材質(zhì)，降低了晶圓的翹曲狀態(tài)，使得全晶圓可用于切割制備單獨的芯片顆粒，無需特殊設(shè)備和生產(chǎn)線，極大了降低了生產(chǎn)成品，解決了國際卡脖子問題。
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