7月3日-5日，2025第九屆集微半導(dǎo)體大會在上海張江科學(xué)會堂盛大舉行。在同期舉辦的集微半導(dǎo)體展上，新銳半導(dǎo)體設(shè)備廠商——上海微崇半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱：微崇半導(dǎo)體）攜其自主研發(fā)的多款高端半導(dǎo)體量檢測設(shè)備亮相。憑借其在高端半導(dǎo)體量檢測設(shè)備領(lǐng)域的自主研發(fā)突破和產(chǎn)業(yè)化成果，榮膺第三屆集微半導(dǎo)體制造峰會“半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈突破獎” ，該獎項旨在表彰在半導(dǎo)體制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)（如設(shè)備、材料、零部件）實現(xiàn)技術(shù)突破、打破國外壟斷、為提升產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力做出實質(zhì)性貢獻的優(yōu)秀企業(yè)。微崇半導(dǎo)體此次獲獎，是業(yè)界對其技術(shù)創(chuàng)新能力、產(chǎn)品性能及市場潛力的高度認(rèn)可，標(biāo)志著國產(chǎn)高端量檢測設(shè)備在追趕國際先進水平的道路上邁出了堅實一步，展現(xiàn)了國產(chǎn)量檢測設(shè)備的創(chuàng)新力量。

海歸領(lǐng)軍，創(chuàng)新設(shè)備平臺嶄露頭角

微崇半導(dǎo)體成立于2021年3月，總部位于上海市楊浦區(qū)長陽創(chuàng)谷。公司由具有國際視野的海歸半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)專家領(lǐng)銜，聯(lián)合國內(nèi)資深工程師和科學(xué)家團隊共同創(chuàng)立，是一家專注于高端、創(chuàng)新型半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備研發(fā)與制造的企業(yè)。成立僅四年多，微崇已展現(xiàn)出強大的技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品化能力，成功推出多款自研設(shè)備，包括二諧波晶圓檢測設(shè)備ASPIRER 3000、離子注入量測設(shè)備BRAVERY 3000，以及全自動超聲波缺陷檢測設(shè)備CLARITY 1000/3000系列，致力于打造世界先進的半導(dǎo)體量檢測設(shè)備平臺型公司。據(jù)公開信息，公司于2025年順利完成數(shù)千萬元A+輪融資，本輪融資由金雨茂物、光谷半導(dǎo)體產(chǎn)投、賽納資本共同投資，資金將用于公司的研發(fā)、市場拓展，以及團隊擴充和建設(shè)。

全自動超聲波缺陷檢測，洞見晶圓深層奧秘

在眾多突破性產(chǎn)品中，微崇半導(dǎo)體自研的全自動超聲波缺陷檢測設(shè)備CLARITY 3000 尤為引人注目。該設(shè)備是用于檢測晶圓內(nèi)部深層缺陷（如氣泡、裂痕、層間剝離等）的先進工具。其核心技術(shù)原理是利用高頻超聲波與晶圓材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的相互作用，通過精密捕捉和分析聲波在材料內(nèi)部的反射、透射及散射信號，構(gòu)建出高分辨率、高對比度的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖像。相較于傳統(tǒng)光學(xué)或電子束檢測方法，超聲波檢測對材料內(nèi)部非可見缺陷、深層缺陷以及某些不透明材料的缺陷具有獨特優(yōu)勢。CLARITY 3000的成功研發(fā)和推廣，為解決先進制程中日益嚴(yán)峻的內(nèi)部缺陷監(jiān)控挑戰(zhàn)提供了強有力的國產(chǎn)化方案，填補了國內(nèi)在該技術(shù)領(lǐng)域的空白。

半導(dǎo)體量檢測設(shè)備是芯片制造過程中的“眼睛”和“尺子”，對保障芯片良率和性能至關(guān)重要。然而，該領(lǐng)域長期被國際巨頭壟斷，國產(chǎn)化率極低，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化中“最難啃的硬骨頭”之一。隨著國內(nèi)晶圓廠產(chǎn)能持續(xù)擴張和制程不斷推進，對先進、高性價比的國產(chǎn)量檢測設(shè)備需求呈現(xiàn)爆發(fā)式增長。微崇半導(dǎo)體聚焦的創(chuàng)新性技術(shù)路線，為國產(chǎn)替代提供了差異化且有效的路徑。目前，公司正積極與國內(nèi)主流晶圓廠開展產(chǎn)品驗證和導(dǎo)入工作，進展順利。微崇半導(dǎo)體展臺誠邀產(chǎn)業(yè)鏈上下游伙伴蒞臨交流，共同推動國產(chǎn)半導(dǎo)體量檢測設(shè)備的創(chuàng)新與應(yīng)用，助力中國芯制造。