天眼查顯示，華海清科股份有限公司近日取得一項(xiàng)名為“一種修整頭”的專(zhuān)利，授權(quán)公告日為2025年3月14日，授權(quán)公告號(hào)為CN110977772B，申請(qǐng)日為2019年6月28日。

本發(fā)明公開(kāi)了一種修整頭，包括修整組件和用于承載修整組件的基座組件，所述修整組件可相對(duì)于基座組件旋轉(zhuǎn)并豎直移動(dòng)以修整拋光墊；并且，所述修整頭中設(shè)置有傳感器以監(jiān)測(cè)修整組件相對(duì)于基座組件的豎直位置。本申請(qǐng)?zhí)峁┑男拚^用于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中拋光墊的修整活化，其結(jié)構(gòu)合理，內(nèi)部設(shè)置傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)修整組件相對(duì)于基座組件的豎直位置，實(shí)時(shí)獲取修整組件底面距離拋光墊的距離，以保證良好的修整效果。