8月28日晚，中微公司發(fā)布2025年半年度報告，顯示公司在上半年實現(xiàn)營業(yè)收入49.61億元，同比增長43.88%；歸母凈利潤7.06億元，同比增長36.62%。

報告期內(nèi)，中微公司的研發(fā)投入達14.92億元，同比大幅增長53.7%，研發(fā)費用占營收比重突破30%，遠高于科創(chuàng)板上市公司的平均研發(fā)投入水平。公司主打設備——等離子體刻蝕設備，上半年銷售額達37.81億元，同比增長40.1%，市場占有率持續(xù)提升，技術能力已延伸至5納米及更先進制程。

在薄膜沉積設備方面，中微公司LPCVD和ALD設備銷售收入同比增長608.2%，成為業(yè)績增長的新引擎。公司開發(fā)的金屬柵系列產(chǎn)品已完成多個先進邏輯客戶設備驗證，性能達到世界先進水平。

此外，中微公司積極拓展泛半導體市場，其MOCVD設備在氮化鎵基LED市場持續(xù)領先，并逐步拓展至碳化硅、氮化鎵功率器件及Micro-LED等新興領域。今年，公司已付運首臺紅黃光LED專用的MOCVD設備至國內(nèi)領先客戶開展生產(chǎn)驗證。