芯碁微裝“光學擴展模組和具有其的光學系統(tǒng)”專利公布

作者：愛集微 2024-10-20

來源：愛集微 #芯碁微裝#

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天眼查顯示，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司“光學擴展模組和具有其的光學系統(tǒng)”專利公布，申請公布日為2024年9月24日，申請公布號為CN118688972A。

本發(fā)明公開了一種光學擴展模組和光學系統(tǒng)，光學擴展模組包括：空間光調(diào)制器，擴展鏡組，擴展鏡組設(shè)置于空間光調(diào)制器的一側(cè)，擴展鏡組通過主成像鏡頭、反射鏡組或棱鏡組形成多個展開光路；多個微透鏡陣列模組，多個微透鏡陣列模組設(shè)置于擴展鏡組的遠離空間光調(diào)制器的一側(cè)并位于主成像鏡頭的像面上，每個微透鏡陣列模組對應(yīng)于一個展開光路；每個展開光路對應(yīng)一個子成像透鏡，每個子成像透鏡和微透鏡陣列模組一一對應(yīng)設(shè)置，子成像透鏡設(shè)置于微透鏡陣列模組的遠離擴展鏡組的一側(cè)。根據(jù)本發(fā)明實施例的光學擴展模組，具有提高了線路的曝光效率和降低了維修成本等優(yōu)點。