5月16日，凱世通在上海浦東新區(qū)隆重舉辦國產(chǎn)低能大束流離子注入機 12 英寸晶圓產(chǎn)品片過貨量突破 500 萬片的慶典。這標(biāo)志著凱世通在該領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從樣機研發(fā)到規(guī)模量產(chǎn)的關(guān)鍵跨越，打破了國際巨頭的長期壟斷，為我國芯片制造自主可控做出了重要貢獻。

離子注入機作為芯片制造的三大關(guān)鍵裝備之一，技術(shù)開發(fā)難度極高，僅次于光刻機，其中低能大束流離子注入機的市場規(guī)模最大且產(chǎn)業(yè)化難度極高。自 2020 年交付首臺設(shè)備以來，凱世通堅持自主研發(fā)和原創(chuàng)設(shè)計，攻克了眾多技術(shù)難題，實現(xiàn)了關(guān)鍵部件國產(chǎn)化，攻克電性能關(guān)鍵工藝及 28 納米工藝全覆蓋，成功支撐了國內(nèi) 10 余家主流 12 英寸集成電路產(chǎn)線的安全量產(chǎn)，覆蓋了先進邏輯、先進存儲、CIS 圖像傳感器以及功率芯片四大核心領(lǐng)域，更以“每月等效 2 個月”的研發(fā)效率，跑出了凱世通速度，不斷刷新低能大束流離子注入機產(chǎn)線安全量產(chǎn)數(shù)據(jù)新高度，探索國產(chǎn)化應(yīng)用的無人區(qū)。

活動現(xiàn)場，客戶代表向凱世通授予了 “凱世通速度” 書法作品，以表彰其在技術(shù)研發(fā)和量產(chǎn)方面的卓越成就，并希望凱世通能夠繼續(xù)保持這種高效的研發(fā)速度，加快新一代產(chǎn)品研發(fā)以及達成更大規(guī)模的量產(chǎn)，推出更多引領(lǐng)國產(chǎn)離子注入機發(fā)展的新產(chǎn)品。

先導(dǎo)科技集團董事長、萬業(yè)企業(yè)董事長兼總裁、凱世通董事長朱世會表示，在當(dāng)前的國際局勢及產(chǎn)業(yè)環(huán)境下，過貨量突破 500 萬片具有重要的戰(zhàn)略價值，體現(xiàn)了凱世通服務(wù)客戶安全量產(chǎn)的能力，也凝聚了團隊的堅守與拼搏，凱世通將繼續(xù)秉持 “科技報國” 初心，緊密圍繞客戶需求，聚焦“硬卡替”環(huán)節(jié)，加快核心技術(shù)攻堅，滿足國內(nèi)集成電路客戶的量產(chǎn)需求。

與此同時，先導(dǎo)科技集團基于全產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，從材料、零部件及維保、量測、終端應(yīng)用等多維度正在加快賦能凱世通發(fā)展，助力凱世通進一步做大做強，服務(wù)國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量快速發(fā)展。

凱世通總經(jīng)理陳克祿博士指出，這一里程碑的實現(xiàn)是凱世通自主研發(fā)能力和機臺產(chǎn)品力的實證，也是公司系統(tǒng)性能力提升的體現(xiàn)。公司成立以來在技術(shù)研發(fā)、現(xiàn)場服務(wù)、生產(chǎn)能力、供應(yīng)鏈體系、質(zhì)量管控等全方位能力體系建設(shè)上取得顯著進步，從年產(chǎn)量幾千片到如今的 500 萬片，凱世通僅用五年時間就實現(xiàn)了國產(chǎn)離子注入機從圖紙走向產(chǎn)線，從 “可用” 到 “好用” 的轉(zhuǎn)變。

凱世通副總經(jīng)理、首席技術(shù)官夏世偉強調(diào)，離子注入機是大國重器，凱世通如今達成的里程碑標(biāo)志著公司從研發(fā)階段邁入安全穩(wěn)定、可靠量產(chǎn)的國產(chǎn)化之路。未來，凱世通團隊始終堅持創(chuàng)新精神和工匠精神，以服務(wù)客戶量產(chǎn)為導(dǎo)向，實現(xiàn)國產(chǎn)大束流機臺產(chǎn)能的持續(xù)提升，開啟國產(chǎn)化之路的新篇章。

慶典尾聲，各界伙伴與凱世通團隊在 500 萬片紀(jì)念晶圓上留下手印，象征產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新、共護“中國芯”的決心。凱世通的這一成就不僅是其自身發(fā)展的里程碑，也為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的自主可控發(fā)展注入了強大動力。

凱世通的突破不僅填補了國產(chǎn)離子注入機的空白，更推動了該設(shè)備從“0到1”研發(fā)到“1到N”量產(chǎn)的跨越。隨著全球供應(yīng)鏈不確定性加劇，國產(chǎn)設(shè)備的規(guī)?；娲鷮⒊蔀楸Ｕ袭a(chǎn)業(yè)鏈安全的關(guān)鍵。未來，凱世通計劃加快新一代產(chǎn)品開發(fā)，進一步覆蓋更先進制程，助力中國集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量突圍。