欣奕華近日官方消息顯示，I線和KrF、ArF光刻膠的開發(fā)，現(xiàn)在已經(jīng)進(jìn)行到評(píng)測(cè)階段，預(yù)計(jì)在2024年初可以實(shí)現(xiàn)少量出貨。之后為了加速半導(dǎo)體用的光刻膠事業(yè)的發(fā)展，考慮導(dǎo)入開發(fā)KrF、ArF使用的光刻機(jī)。

欣奕華于2013年成立，以北京為總部，由四個(gè)業(yè)務(wù)版塊組成。其中，安徽省阜陽市的公司是以材料版塊為主體。公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)在2007年參加了中國(guó)實(shí)行的高科技材料開發(fā)國(guó)家“863計(jì)劃”，并在2007年開始了彩色濾光片使用的光刻膠的開發(fā)。

據(jù)悉，阜陽欣奕華于2015年建成國(guó)內(nèi)第一條年產(chǎn)達(dá)1000噸的平板顯示用光刻膠生產(chǎn)線，并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)。阜陽欣奕華顯示光刻膠年出貨量今年預(yù)計(jì)可達(dá)2500噸。

此外，該公司引進(jìn)了日本半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體關(guān)鍵原材核心技術(shù)的引入和國(guó)產(chǎn)化。擁有數(shù)條在建半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品產(chǎn)線。

欣奕華官方消息顯示，半導(dǎo)體用的濕電子材料，包括CMP拋光液、切割液、激光保護(hù)液在開發(fā)中。CMP拋光液已經(jīng)通過顧客端的測(cè)試認(rèn)證，預(yù)計(jì)在2022年下半年導(dǎo)入生產(chǎn)設(shè)備，計(jì)劃達(dá)到3200噸的年產(chǎn)能。（校對(duì)/小北）