這個春天，“新質(zhì)生產(chǎn)力”猶如一股澎湃浪潮，為科技發(fā)展注入強勁動能。3月20日，SEMICON China 2024的揚帆起航，更為這股浪潮再添一道強勁合力。 在這場全球規(guī)模最大、影響面最廣，集技術(shù)、產(chǎn)業(yè)、市場、創(chuàng)新、投資于一身的行業(yè)盛會，欣奕華科技集團向“新”而進(jìn)，向“芯”而行，攜半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)、SiBot系列移動機器人等新晉半導(dǎo)體移載、搬運設(shè)備，及工藝、檢測設(shè)備和系統(tǒng)解決方案，為全球1000+國內(nèi)外半導(dǎo)體企業(yè)平添高效、可靠、智能選擇，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)凝聚高質(zhì)量蓬勃發(fā)展之力。

欣奕華科技集團（SINEVA）成立于2013年5月，圍繞“2+N”（即在智能機器和先進(jìn)材料2個領(lǐng)域打造N個產(chǎn)品和解決方案）戰(zhàn)略，以“成為智能機器和先進(jìn)材料領(lǐng)域世界領(lǐng)先企業(yè)”為愿景；以“為各行各業(yè)和千家萬戶提供令人激動的產(chǎn)品與服務(wù)，為中國現(xiàn)代化與人類文明進(jìn)步做貢獻(xiàn)”為使命，迅速發(fā)展成為半導(dǎo)體、顯示、3C制造等領(lǐng)域高端裝備及材料供應(yīng)商。本次展會，集團旗下智能機器領(lǐng)域泛半導(dǎo)體高端裝備提供商——合肥欣奕華智能機器股份有限公司（簡稱“合肥欣奕華”）和全場景移動機器人解決方案提供商——浙江欣奕華智能科技有限公司（簡稱“浙江欣奕華”）聯(lián)袂登錄SEMICON China 2024，全方位展示了半導(dǎo)體行業(yè)整體解決方案打造能力，可支持客戶實現(xiàn)精益化生產(chǎn)管理等極致追求。

賦能智造，泛半導(dǎo)體高端裝備提供商

對于半導(dǎo)體晶圓廠來說，天花板上穩(wěn)定運行、交錯穿梭的天車系統(tǒng)——AMHS，這個看似簡單的搬運系統(tǒng)，卻是現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的重要組成部分，是MAGE FAB、GIGA FAB自動化系統(tǒng)中單項投資最大的項目，對整個半導(dǎo)體工廠實現(xiàn)智能制造具有重要的戰(zhàn)略意義。作為國內(nèi)泛半導(dǎo)體高端裝備研發(fā)企業(yè)之一，合肥欣奕華在本次展會重點展示了已量產(chǎn)交付的半導(dǎo)體AMHS及相關(guān)配套產(chǎn)品。

隨著芯片工藝節(jié)點的不斷升級，晶圓廠的工藝制造流程與AMHS系統(tǒng)的結(jié)合已成為晶圓廠生產(chǎn)建設(shè)必不可少的重要規(guī)劃，對于晶圓廠至關(guān)重要。作為國內(nèi)可以為半導(dǎo)體客戶Fab提供半導(dǎo)體OHT、Stocker、NTB等AMHS整體解決方案的廠商，合肥欣奕華自主研發(fā)的OHT走行速度最高可達(dá)320m/min，振動≤0.5G，擁有自主開發(fā)的路徑探索算法，支持控制系統(tǒng)不停機更新，搬送效率達(dá)國際先進(jìn)水平，能有效助力半導(dǎo)體生產(chǎn)線縮短生產(chǎn)節(jié)拍、提高稼動率、提升直送比等。

目前，合肥欣奕華研發(fā)的半導(dǎo)體AMHS的設(shè)備運行速度、振動控制、搬送負(fù)載、定位精度等各項關(guān)鍵參數(shù)均已達(dá)到國際先進(jìn)水平。公司已成為國內(nèi)少數(shù)能提供軟硬件成套化、產(chǎn)品客制化、供應(yīng)鏈本土化的半導(dǎo)體AMHS整體解決方案供應(yīng)商，在大規(guī)模動態(tài)調(diào)度、高速運行、振動控制等關(guān)鍵技術(shù)方面實現(xiàn)了全自主研發(fā)突破，具備AMHS多種布局設(shè)計能力，可根據(jù)客戶需求靈活的布置軌道和存儲方案，實現(xiàn)最優(yōu)配置，為客戶提供全方位的靈活定制化方案。

除半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)之外，合肥欣奕華在光伏、顯示等高端裝備領(lǐng)域均成績斐然，公司不斷增強對知識產(chǎn)權(quán)的大力投入，技術(shù)護城河持續(xù)升溫，近年來自主研發(fā)的鈣鈦礦蒸鍍設(shè)備、Mini/Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備皆為國內(nèi)首臺套，可對標(biāo)全球技術(shù)水平。

聚焦AI+ AMR+，全場景移動機器人解決方案提供商

隨著全球半導(dǎo)體市場迎來回暖及重構(gòu)，硅片制造、晶圓制造、封裝制造廠商產(chǎn)能提速，設(shè)備或維系高景氣狀態(tài)。這對于可實現(xiàn)7×24小時全時工作、靈活滿足柔性調(diào)度需求的移動機器人來說，也是利好局面。隨著近年來移動機器人逐漸被半導(dǎo)體（FAB）工廠認(rèn)可，作為AMHS系統(tǒng)在特定節(jié)點的補充，移動機器人進(jìn)一步提升了FAB工廠內(nèi)物流的柔性，對于提升半導(dǎo)體制造企業(yè)的競爭力有著重要影響。在這其中，浙江欣奕華致力于以復(fù)合機器人為載體，為業(yè)內(nèi)提供囊括軟件、硬件、接口、服務(wù)模式等全方位支持體系的自動上下料和移動搬運機器人整體解決方案。

基于多年泛半導(dǎo)體行業(yè)智能設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗、制造經(jīng)驗和移動機器人業(yè)務(wù)實踐積累，浙江欣奕華憑借業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的建圖定位、規(guī)劃控制、感知決策、協(xié)同調(diào)度等人工智能技術(shù)以及對工業(yè)制造的行業(yè)認(rèn)知和成熟經(jīng)驗，在本次展會特別為客戶帶來了SiBot系列移動機器人新品。

SiBot系列移動機器人采用SLAM導(dǎo)航+視覺定位技術(shù)，搭配低位置360°雙工業(yè)級安全雷射感測系統(tǒng)和軍規(guī)級萬向輪驅(qū)動系統(tǒng)，在運動精度方面，重復(fù)?？烤瓤蛇_(dá)±5mm；機械臂模組重復(fù)抓取精度可達(dá)到±1mm。此外，SiBot 系列移動機器人可在保證＜0.5g搬運震動要求下，實現(xiàn)1.2m/sec的高速運行速度，結(jié)合自動上下料解決方案，可實現(xiàn)高效抓取晶圓盒、CST、?屬加?件、玻璃加?件、陶瓷加?件等部品，能夠穩(wěn)定高效滿足客戶生產(chǎn)節(jié)拍需求。

除了緊盯客戶需求，提供安全、可靠、高效、穩(wěn)定的移動機器人整體解決方案之外，由于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)要求嚴(yán)苛，專業(yè)的解決方案打造能力結(jié)合全生命周期服務(wù)機制，更是半導(dǎo)體制造廠商實現(xiàn)精益化生產(chǎn)的穩(wěn)固保障。作為高端制造行業(yè)全場景移動機器人解決方案供應(yīng)商，浙江欣奕華長久以來，除了在軟硬件技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)方便發(fā)力，專業(yè)的整體解決方案提供能力、高品質(zhì)產(chǎn)品制造能力和專業(yè)的售后服務(wù)能力更是關(guān)鍵所在，成為了企業(yè)步入細(xì)分領(lǐng)域發(fā)展快車道的基本盤。

目前，浙江欣奕華已打造了業(yè)內(nèi)多個項目標(biāo)桿：公司助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)合作伙伴制定與完善“智慧工廠”智略、協(xié)助“全球手機背板生產(chǎn)的先驅(qū)者”完成智能升級、助力面板龍頭企業(yè)柔性產(chǎn)線的智能化升級、助力世界500強企業(yè)智能轉(zhuǎn)型......后續(xù)，除了繼續(xù)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)合作伙伴提供令人滿意的自動化生產(chǎn)物流服務(wù)外，浙江欣奕華將繼續(xù)針對更多行業(yè)應(yīng)用場景特點與客戶需求，以數(shù)字化能力幫助客戶提高精益管理能力，以智能化能力幫助客戶實現(xiàn)智慧生產(chǎn)賦能，更好地迎接新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展需要。