天眼查顯示，北京屹唐半導體科技股份有限公司“真空機械手及半導體工藝設備”專利公布，申請公布日為2025年2月28日，申請公布號為CN119526459A。

本公開提供了一種真空機械手及半導體工藝設備，涉及半導體制造技術領域。真空機械手包括：石英手指，具有相對的吸附端和安裝端，吸附端設置有真空吸附口；石英手指還設置有第一氣道，第一氣道與真空吸附口連通；安裝臂，設置有第一安裝孔；石英手指的安裝端插設于第一安裝孔中；安裝臂還設置有至少兩個調整孔，調整孔的軸向與第一安裝孔的軸向垂直，調整孔與第一安裝孔連通設置；安裝臂還設置有第二氣道，第二氣道與第一氣道連通設置；調整件，分別與調整孔配合；調整件用于與石英手指的表面相抵；夾持組件，夾持組件與安裝臂連接，夾持組件用于與石英手指背離調整件的表面相抵。