天眼查顯示，普冉半導(dǎo)體（上海）股份有限公司“晶圓測(cè)試方法、裝置、測(cè)試機(jī)和存儲(chǔ)介質(zhì)”專利公布，申請(qǐng)公布日為2025年3月14日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119619805A。

本發(fā)明涉及晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，提供一種晶圓測(cè)試方法、裝置、測(cè)試機(jī)和存儲(chǔ)介質(zhì)。測(cè)試機(jī)的探針卡中的每個(gè)探針均有所屬的探針組，每個(gè)探針與相鄰位置的探針屬于不同的探針組。該方法包括：首先根據(jù)待測(cè)晶圓的晶圓型號(hào)，獲得對(duì)應(yīng)的目標(biāo)信號(hào)采樣時(shí)間點(diǎn)集；然后在每個(gè)測(cè)試周期，依次控制每個(gè)探針組對(duì)待測(cè)晶圓中裸片進(jìn)行測(cè)試，得到每個(gè)探測(cè)組的測(cè)試結(jié)果；最后將全部探針組的測(cè)試結(jié)果作為一個(gè)測(cè)試周期的測(cè)試結(jié)果。通過(guò)對(duì)探針?lè)纸M，擴(kuò)大了測(cè)試時(shí)探針之間的距離，降低了不同探針之間的信號(hào)干擾。并且降低了不同測(cè)試機(jī)的性能差異對(duì)于晶圓測(cè)試的影響，提高了晶圓測(cè)試的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。