近日，至純科技旗下主營(yíng)電子大宗氣體的子公司上海至純精密氣體有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“至純精密氣體”）完成首輪數(shù)億元對(duì)外融資的工商變更。該輪融資由金橋資本旗下盛盎投資管理的上海浦東智能制造基金領(lǐng)投。

公開(kāi)資料顯示，至純精密氣體成立于2021年，專(zhuān)注于高純工藝氣體和電子級(jí)大宗氣體業(yè)務(wù)。2022年初，由公司投資和設(shè)計(jì)建設(shè)的國(guó)內(nèi)首座完全國(guó)產(chǎn)化的12英寸晶圓大宗氣體供應(yīng)工廠(chǎng)指標(biāo)完全達(dá)標(biāo)，成功打破半導(dǎo)體級(jí)大宗氣由國(guó)際供應(yīng)商壟斷的格局，實(shí)現(xiàn)該制程節(jié)點(diǎn)國(guó)內(nèi)自主大宗氣站零的突破。第二座更大規(guī)模的氣站也在2024年初步建成，并成功為客戶(hù)供氣，進(jìn)入運(yùn)營(yíng)階段。

電子特氣是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料，對(duì)芯片性能和良率有直接影響，是半導(dǎo)體制造的第二大耗材，占比約14%。2025年，中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模近300億，且保持每年10%的增長(zhǎng)。（校對(duì)/趙月）