9月4日至6日，第十三屆半導體設備與核心部件及材料展（CSEAC 2025）在無錫太湖國際博覽中心舉行。泓滸（蘇州）半導體科技有限公司（以下簡稱“泓滸半導體”）應邀出席本屆半導體設備年會。

泓滸半導體始終扎根于半導體傳送設備與關(guān)鍵零部件領(lǐng)域，主營業(yè)務涵蓋晶圓傳輸設備及部件、維修翻新、耗材及配件貿(mào)易。泓滸半導體此次攜多款晶圓傳輸機器人亮相展會，展現(xiàn)了其在國產(chǎn)半導體裝備核心零部件技術(shù)的突破性進展。

展會現(xiàn)場，泓滸半導體展臺成為關(guān)注的焦點，吸引了眾多客戶，業(yè)界專家、合作伙伴、投資人和行業(yè)媒體的駐足與關(guān)注。工作人員向大家熱情介紹公司情況和產(chǎn)品，分享前沿技術(shù)、交流寶貴的行業(yè)經(jīng)驗，熱烈探討行業(yè)發(fā)展趨勢。

會議期間，泓滸半導體董事長兼首席技術(shù)官林堅發(fā)表題為《半導體晶圓傳輸機器人技術(shù)突破與創(chuàng)新》的主題演講，詳細介紹了公司在半導體晶圓傳送潔凈機器領(lǐng)域的技術(shù)突破、創(chuàng)新成果及發(fā)展規(guī)劃，展現(xiàn)了國產(chǎn)企業(yè)在該領(lǐng)域攻堅克難、推動國產(chǎn)化替代的決心與實力

林堅首先介紹了泓滸半導體的發(fā)展歷程。公司核心團隊源自中芯國際，自2016年成立以來，圍繞晶圓傳送模塊，從最初的機械手翻新維護，逐步拓展至系統(tǒng)集成、核心機械手研發(fā)及量產(chǎn)。目前已完成三輪融資，并在新加坡成立子公司，開啟海外市場拓展之路。

在產(chǎn)品布局方面，泓滸半導體的產(chǎn)品體系圍繞晶圓傳送展開，覆蓋真空與大氣環(huán)境，包括實現(xiàn)大氣和真空環(huán)境的Robot、Load port、PA、OCR等核心部件以及為客戶提供行業(yè)領(lǐng)先的晶圓自動傳輸設備、整體解決方案和耗材備件服務。值得一提的是，公司在翻新維修領(lǐng)域規(guī)模居國內(nèi)前列，可解決國內(nèi)外90%的機械手品牌維修需求，其中本土品牌可100%解決，控制器部分解決率達60%，能為客戶快速響應，解決痛點。

林堅重點闡述了技術(shù)突破與創(chuàng)新。公司自研的6款真空機械手可滿足國內(nèi)所有真空環(huán)境應用場景；大氣機械手有6種類型，涵蓋雙臂雙blade、雙臂雙blade、單臂單blade、單臂單翻轉(zhuǎn)、長臂雙blade及長臂雙blade（超低震動直驅(qū)解決方案），同時，公司通過機器人自動化技術(shù)保障高潔凈度環(huán)境、高傳輸精度、高可靠性晶圓運輸。

針對行業(yè)難點，林堅指出，晶圓傳送對微環(huán)境控制、高速高精度及高可靠性要求極高，尤其是高可靠性認證是行業(yè)挑戰(zhàn)。目前國際市場主要由美國、日本企業(yè)壟斷，國內(nèi)雖有企業(yè)切入，但面臨諸多技術(shù)壁壘。泓滸半導體憑借團隊的甲方經(jīng)驗，深刻理解客戶需求，通過與電子科大可靠性實驗室合作，建立科學的可靠性模型，將數(shù)萬小時的MCBF測試縮短至6~9月完成測試與評定，其數(shù)據(jù)已得到國際平臺認可，證實產(chǎn)品可靠性可與國外對標。此外，公司在核心零部件選型上與國際對標，同時聯(lián)合國內(nèi)減速機、電機、軸承廠商深化研發(fā)，推動更深層次的國產(chǎn)替代。

在技術(shù)創(chuàng)新應用方面，林堅介紹，公司將AI技術(shù)融入設備，實現(xiàn)從自動化到智能化的升級。通過AI算法實現(xiàn)設備自我學習、異常預判、防撞保護等功能，例如利用電流監(jiān)測進行趨勢分析，提前預警故障；通過實時監(jiān)測位置狀態(tài)，在異常時快速停機以減少損失，該防撞技術(shù)已超越國外品牌。同時，公司運用傳感器技術(shù)，結(jié)合實時監(jiān)控系統(tǒng)，對設備震動、溫度、電流等數(shù)據(jù)進行監(jiān)測，保障模塊穩(wěn)定運行，并通過預防性維護監(jiān)控系統(tǒng)將數(shù)據(jù)傳輸給客戶端，助力客戶實現(xiàn)精細化管控。

林堅還提到，公司持續(xù)加大研發(fā)投入，已累計獲得93項發(fā)明專利，總專利達200項，形成高速高精度控制系統(tǒng)、機器人設計與仿真、主動監(jiān)控與震動抑制、核心零部件選型四大核心中臺。下一代機器人研發(fā)將聚焦直驅(qū)技術(shù)、控制算法優(yōu)化、AI 控制及傳感器技術(shù)，旨在進一步提升產(chǎn)品性能。

目前，泓滸半導體的客戶群體覆蓋大硅片制造、集成電路制造、半導體先進封裝及裝備商等四大賽道，國內(nèi)頭部客戶多已合作，尤其是集成電路制造領(lǐng)域，國內(nèi)所有外部廠均將其列為合格供應商。

林堅表示，面對國際供應鏈的不確定性，泓滸半導體將持續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為核心，推動半導體晶圓傳送潔凈機器的國產(chǎn)化替代，為全球半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻中國力量。